イグス製品の採用事例

集積回路のウエハー加工 |ケーブルキャリア使用事例

集積回路施設のウエハー技術に使用されたエナジーチェーンE6シリーズは、最大加速度4m/s2、最大速度6m/sを実現しました。 切粉が発生する分野では、高いレベルのクリーン度が決定要因なので、わずかな摩耗も避けなければなりません。 E6シリーズはIPAフラウンホファー認定を受けたクリーンルーム適合製品です。



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